Sputterdünn Filmdrucksensor Vorteile

Abstrakt

Sputterdünnfilmdrucksensoren sind Geräte, die zur Messung und Überwachung des Drucks in verschiedenen Anwendungen verwendet werden. In diesem Artikel wird über sein Arbeitsprinzip, seine Vorteile und den Unterschied zwischen ihm und der dicken Filmtechnologie erörtert.

Dünnfilmdrucksensor ausgestoßen

Spotterte dünne Filmdrucksensorenhaben aufgrund ihrer Vorteile gegenüber traditionellen Erfassungstechnologien erhebliche Beliebtheit gewonnen.

Seine Zukunft ist vielversprechend mit laufenden Forschungs- und Entwicklungsbemühungen. Mit anhaltenden Fortschritten wird erwartet, dass sie in einer Vielzahl von Branchen, wie Luft- und Raumfahrt, Schiffen, Eisenbahntransit, Systeme des elektronischen Stabilität des Automobils, in einem elektronischen Hydraulikbremssystem (EHB) und der Diesel hohen Railers, insbesondere in Hydraulik- und Fahrzeugen, wie Cranes, Dampfanlagen, zu einem branchenweiten und elektronischen Hydraulikbremssystem, eine immer wichtigere Rolle spielen.

In Zukunft wird erwartet, dass sie sich in den Funktionen kompakter Größe, integrierter, digitaler und intelligenter Leistung entwickeln.

Dünnfilm -Drucksensor -Arbeitsprinzip

Der Sputter-Dünnfilm-Drucksensor verwendet Ionenstrahl-Sputter- und Ätztechnologie, um Dünnfilmwiderstände auf einem elastischen Zwerchfell aus Edelstahl zu erzeugen. Diese Widerstände bilden eine Weizensteinbrücke. Wenn der Flüssigkeitsdruck auf das Diaphragmen aus Edelstahl ausgeübt wird, verformt er sich, was zu einer Änderung des Widerstands führt. Die Weizensteinbrücke erzeugt ein elektrisches Signal, das proportional zum Druck ist. Durch eine Reihe von Signalverarbeitungs- und Fehlerkorrekturschritten wird dieses Signal in einen elektrischen Standardausgang umgewandelt, der Druckmessung ermöglicht.

Sputterdünn Filmdrucksensor Vorteile

Seit dem Isolierfilm und dem Substrat werden der sensible Film und der Isolierfilm direkt in einer hohen Vakuumumgebung zusammengefügt. Die Zwischenschichten des Films werden durch Atomkraft kombiniert, wodurch die Auswirkung des Kriechens, das durch das Klebeband verursacht wird, beseitigt. Basierend darauf sind Sputter -Dünnfilm -Drucksensoren in Bezug auf:

1. Hohe Genauigkeit. Sputter -Abscheidungstechniken ermöglichen die Schaffung von dünnen Filmen mit präziser Dicke. Dies ermöglicht die Herstellung hochempfindlicher und genauer Drucksengerelemente. Und es hat eine gute Wiederholbarkeit und eine hohe Zuverlässigkeit.
2. Stark resistent gegen Schwingung, Auswirkung und Korrosion mit hoher Intensität ohne Leckage. Da der Dünnfilmdrucksensor mittels Laserschweißen oder Plasmaschweißen in ein Ganzes geschweißt wird, werden der empfindliche Kernkörper und die Edelstahldruckverbindung geschweißt. Daher haben Sputter -Dünnfilm -Drucksensoren keine "O" -Kautschukendichtungen. Es gibt keine Silikonölfüllung, und das Druckmedium wirkt direkt auf den korrosionsresistenten Edelstahl-empfindlichen Kern. Das Produkt kann hochintensiven Vibrationen und Auswirkungen standhalten, und es besteht absolut keine Leckagen.
3. Gute Temperatureigenschaften. Der Dünnfilm -Drucksensor übernimmt die Halbleiterprozess -Technologie und die Laserfestigkeitsabschnittstechnologie. Sie können beispielsweise in breiten Temperaturbereichen arbeiten, zum Beispiel {-40 Grad… 125 Grad und wir können einen für -55… 150 Grad anpassen.
4. Hochfrequenzgang. Weil das Druckmedium direkt auf den korrosionsresistenten Edelstahl-empfindlichen Kern wirkt. Kein Membran und Füllflüssigkeit. Daher ist die Messung real und der Frequenzgang hoch.
5. Kleine Größe. Unsere Sensoren sind kompakt und langlebig. In einer Anwendung, die nur begrenzt Platz hat, stellen sich unsere Sensoren der Herausforderung.

Eine Sache zu beachten ist, dass eine schlechte Bindung zwischen dem Dünnfilm -Sensorelement und dem Portmaterial zu einem frühen Komponentenversagen während des Fahrradverfahrens führen kann. Es erfordert teure Sputtergeräte und einen sauberen Raum. Daher können nur führende Hersteller ihre Pflanzen mit der richtigen Segregation bedienen, um eine Kreuzkontamination zu vermeiden und somit die hohe Prozessstabilität aufrechtzuerhalten. Während Macsensor es macht.

Wir entwerfen und stellten Sputter -Dünnfilmdrucksensoren auf der Grundlage der Probleme, die in den Branchen häufig vorkommen, wie schwerwiegende Kavitation, Hammerphänomen, hoher Spitzendruck, große Stromschwankungen, große Schwingungsstörungen und andere harte Umgebung im Hydrauliksystem von Baumaschinen. Unsere Produkte können die Anforderungen dieser Arbeitsbedingungen vollständig erfüllen.

Unterschied zwischen dicken und dünnen Filmsensoren

Der Unterschied zwischen dickem und dünnem Filmsensoren liegt in der Dicke der verwendeten Widerstandsschicht. Dünnfilmsensoren haben eine Dicke von {0. 1 Mikrometer oder kleiner, während dicke Filmsensoren tausendmal dicker sind als Dünnfilm -Gegenstücke.

Sie unterscheiden sich in der Methode zur Anwendung des Widerstandsfilms auf das Substrat. Dünnfilmwiderstände zeigen einen metallischen Film, der unter Vakuum auf einem isolierenden Substrat abgelagert ist. Im Gegensatz dazu werden dicke Filmwiderstände durch Abfeuern einer speziellen Paste aus Metalloxiden und Glas auf das Substrat erzeugt.

Dünnfilmsensoren bieten bemerkenswerte Vorteile, wie z. B. höhere Genauigkeit, verbesserte Temperaturkoeffizienten und eine verbesserte Stabilität. Während dicke Filmsensoren für Anwendungen bevorzugt werden, bei denen hohe Anforderungen nicht von entscheidender Bedeutung sind, da sie kostengünstiger sind.